Нанесение оксида кремния Существует два способа нанесения покрытия из оксида кремния: - химическое парофазное осаждение, усиленное плазмой
- осаждение с помощью электронного луча. 1) Химическое парофазное осаждение, усиленное плазмой Барьерные покрытия из оксида кремния наносятся на ПЭТ пленку или на пленку из ориентированного ПП с помощью плазменного процесса на валковом оборудовании, шириной от 0,3 до 1,5 метров. Считается, что оксидные покрытие более безопасны для окружающей среды, чем покрытия из поливинилдехлорида или ПВХ. Существует два способа нанесения барьерного покрытия из оксида кремния или алюминия: выпаривание (как для оксида алюминия, так и для оксида кремния) и химическое плазменное осаждение (только для наненсения покрытия из оксида кремния).
Ниже будет описан процесс нанесения барьерного покрытия из оксида кремния сопособом плазменного осаждения. Барьерное покрытие осаждается из плазменной декомпозиции 1,1,3,3-тетрамитилдисилоксана или гексаметилдисилоксана, кислорода и гелия при плазменном разряде в 40 кГц, подаваемом на полмерную ленту. Осаждение пленки происходит под давлением в 50 мТорр (рисунок 2.8.).
Рисунок 2.8.
Нанесение барьерного покрытия SiO2 в плазме низкого давления
Возможно использование трех различных плазменных систем для осаждения пленки: оборудование для пленки шириной 0,3 м; 0,66 м и 1,5 м. Во всех трех машинах используется валковая система, хотя в их конфигурации есть некоторые различия. Оборудование для нанесения барьерного покрытия SiO2 в плазме на полимерную пленку шириной 0,3 м 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Оборудование для нанесения барьерного покрытия SiO2 в плазме на полимерную пленку шириной 0,66 м 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Оборудование для нанесения барьерного покрытия SiO2 в плазме на полимерную пленку шириной 1,5 м 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA
| 
